Nano-structured micropatterns by combination of block copolymer self-assembly and UV photolithography

Gorzolnik, Blazej; Mela, Petra; Möller, Martin

Bristol : IOP Publ. (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Nanotechnology
Band: 17
Heft: 19
Seite(n)/Artikel-Nr.: 5027-5032

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